Vortrag: "Prozessplasmen in der Nanotechnologie"

In der Nanotechnologie haben Plasmaverfahren in letzter Zeit zunehmend an Bedeutung gewonnen. Neben den herkömmlichen Niederdruckverfahren haben sich in diesem Zusammenhang verstärkt auch Atmosphärendruckplasmen zur Prozessierung von Nanomaterialien etabliert. Dies liegt vor allem in der relativ einfachen Konstruktion, dem Betrieb sowie den geringeren Kosten begründet.

Darüber hinaus gibt es noch einen weiteren entscheidenden Vorteil: Bei höheren Drücken (eben bis zum Atmosphärendruck) läuft die Nukleation von Nanopartikeln in der Gasphase wesentlich effektiver und kontrollierbarer als im Niederdruckplasma ab.

Für die Herstellung von Nanopartikeln sind dabei vor allem die Nichtgleich­gewichts-Chemie, die Selbstorganisation, hohe Radikaldichten sowie die ungewöhnlichen Reaktionspfade von entscheidender Bedeutung. Außerdem können nichtthermische Atmosphärendruckplasmen auch mit Flüssigkeiten wechselwirken, um in kolloidalen Lösungen suspendierte Nanoteilchen zu modifizieren. Unter den Atmosphärendruckplasmen finden dabei insbesondere die sogenannten Mikroplasmen eine zunehmende Verbreitung.