unizeit Nr. 57 vom 12.12.2009, Seite 7

Prof. Dr. Bernhard Wagner

Sensoren und Antriebe

Bernhard Wagner. Foto: pur.pur

»Mir ist wichtig, die Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie und der CAU zu intensivieren. Das Institut entwickelt und fertigt Bauelemente der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik. Ich befasse mich vorrangig mit Funktionsmaterialien und Fertigungsprozessen für Sensoren und Antriebe im Nanoformat. Aktuell arbeite ich mit piezoelektrischen Materialien, nämlich solchen, die Spannung in Kraft umwandeln. Sie werden in Dünnfilmtechnik aufgebracht und können zum Antrieb von Ablenkspiegeln oder Bewegungssensoren in Autos oder Handys genutzt werden.«

Bernhard Wagner, 54 Jahre. Seit Mai 2009 Professor für Materialien und Prozesse der Nanosystemtechnik an der Christian-Albrechts-Universität, tätig am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe. Zuvor wissenschaftlicher Mitarbeiter am ISIT. Geboren in Börsborn, Rheinland-Pfalz. 1986 Promotion an der Universität Mainz.

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