Energiestrommessungen zur Plasmadiagnostik und Prozessoptimierung

  • Von Montag bis Mittwoch wird das Projekt durch ein Exponat vorgestellt.
  • Am Montag, 1.4., um 11:00 Uhr und 13:00 Uhr stellt Prof. Dr. Holger Kersten "Energiestrommessungen" auf der CAU-Messebühne vor.

Was wird präsentiert?

Die passive Thermosonde ist eine Eigenentwicklung der Arbeitsgruppe Plasmatechnologie zur Diagnostik und Optimierung der Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung. Aus der plasmainduzierten Temperaturänderung der Sonde wird der Energieeintrag des Plasmas zur Substratoberfläche bestimmt.

Was ist neu?

Die einfache Geometrie der passiven Thermosonde ermöglichet den Einsatz an Plasmaquellen im Nieder- und Atmosphärendruck. Durch die gemessene Gesamtenergie lassen sich Prozessplasmen für Dünnschichtabscheidung und Oberflächenaktivierung optimieren.

Was sind die Potenziale?

Die Anpassung der Thermosonde an die reale Anwendungsumgebung sowie die Kombination mit weiteren Diagnostiken ermöglicht eine Optimierung der einzelnen Beiträge zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung und somit eine effizientere und hochwertigere Gestaltung von industriellen Oberflächenbehandlungen.